超純水過濾解決方案

超純水 (UPW) 通常被認為是在 25ºC 時電阻率大于18MΩ.cm或接近18.3MΩ.cm水，水中的導電介質幾乎完全去除，又把水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。現在的超純水制備采用了預處理、電滲析（EDI）紫外線殺菌、反滲透（RO）、離子交換及各種膜過濾技術等。

其工藝大體可分為預處理、脫鹽、精處理三步

預處理：包括多介質過濾、活性炭過濾、軟化器，過濾去除水中1～20μm大小的顆粒及除去有機物和自由氯。
脫鹽：包括反滲透（RO）、電滲析（EDI）等方法，去除水中絕大多數離子。如電滲析（EDI）脫鹽率可達到95%以上。反滲透（RO）脫鹽率可達98%，并能去除99%細菌顆粒和溶解在水中的有機物。
精處理：作用主要是防止細小微粒及破碎的樹脂殘渣進入成品水，去離子水容易被過流管道及設備造成二次污染，造成去離子水電導率上升水質不合格，通過0.1μm精密過濾器，濾去去離子水中可能殘留的顆粒，保證終端水質純凈。